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該系統(tǒng)可檢測LED基板外延片的鍍膜不均勻、亮點、黑色臟污等缺陷，可檢測LED芯片電極針痕、電極刮傷、缺失、劃痕、斜切、臟污、異色等缺陷。檢測精度：1.5um；檢測后，會將不合格的芯片的位置反饋給剔除系統(tǒng)。
該系統(tǒng)可檢測LED基板外延片的鍍膜不均勻、亮點、黑色臟污等缺陷，可檢測LED芯片電極針痕、電極刮傷、缺失、劃痕、斜切、臟污、異色等缺陷。檢測精度：1.5um；檢測后，會將不合格的芯片的位置反饋給剔除系統(tǒng)。
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